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本发明提供了一种晶圆抛光施压装置，包括壳体、安装在所述壳体中的不同材质的N个压块以及压块固定元件，其中，所述壳体为顶端敞口的柱形槽，该柱形槽的底端可粘贴待加工晶圆；所述N个压块同心设置且等体积；所述压块固定元件安装在所述压块和壳体的顶端，并...
该专利属于河南工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南工业大学授权不得商用。

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