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本发明涉及湿法处理装置、湿法处理方法以及薄膜器件的制造方法。湿法处理装置具备：容器，其至少一个面的一部分开口，并且在相互相对的一对内壁之间具有由用于各一块地收纳晶圆的保持槽构成的狭缝；浴槽，其用于使收纳于容器内的晶圆相对于液面以水平的方向浸...
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