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本发明提供一种钙钛矿器件的制备方法，包括以下步骤：采用干法工艺沉积金属卤化物膜，干法工艺包括第一沉积阶段和第二沉积阶段，第一沉积阶段沉积得到第一子膜层，第二沉积阶段沉积得到位于第一子膜层表面的第二子膜层，第一沉积阶段的第一沉积速率大于第二沉...
该专利属于宣城先进光伏技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宣城先进光伏技术有限公司授权不得商用。

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