【技术实现步骤摘要】
一种钙钛矿器件的制备方法
[0001]本专利技术涉及钙钛矿器件
，具体涉及一种钙钛矿器件的制备方法。
技术介绍
[0002]近年来，环境污染和能源短缺问题成为世界关注的焦点。太阳能以其储量高、分布广、可再生、无污染等特点被认为是解决能源短缺和环境污染问题的关键。太阳能电池作为利用太阳能的有效方式，其基本原理是利用光生伏特效应将太阳辐射能直接转换为电能。钙钛矿太阳能电池(PSC)是一种新型太阳能电池,具有制造成本低和光电转换效率高等显著优点。钙钛矿太阳能电池由于其不断刷新的转换效率而受到广泛关注，产业化的研究也在不断推进。
[0003]钙钛矿太阳能电池的光吸收层为钙钛矿膜，钙钛矿膜的制备方法包括一步法和两步法。其中，两步法的步骤包括：首先形成固态的金属卤化物膜，金属卤化物膜为疏松多孔结构；然后在金属卤化物膜的表面形成有机液膜，有机液膜会渗入到金属卤化物膜的孔隙中，并与金属卤化物发生反应，从而得到钙钛矿材料；随后进行退火得到固态的钙钛矿膜。由此可见，金属卤化物膜中孔隙状态直接影响有机液膜的渗入程度，从而影响金属卤化...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钙钛矿器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用干法工艺沉积金属卤化物膜，所述干法工艺包括依次进行的第一沉积阶段和第二沉积阶段，所述第一沉积阶段沉积得到第一子膜层，所述第二沉积阶段沉积得到位于所述第一子膜层的一侧表面的第二子膜层，所述第一沉积阶段的第一沉积速率大于所述第二沉积阶段的第二沉积速率，所述第一子膜层的厚度大于所述第二子膜层的厚度，所述第二子膜层的厚度为20nm
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50nm；采用湿法工艺在所述金属卤化物膜的表面形成有机液膜，所述有机液膜中含有甲眯基团或胺基团；对所述有机液膜进行退火得到钙钛矿膜。2.根据权利要求1所述的钙钛矿器件的制备方法，其特征在于，所述第一沉积速率为所述第二沉积速率为3.根据权利要求1所述的钙钛矿器件的制备方法，其特征在于，所述第一子膜层的厚度为80nm
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800nm。4.根据权利要求1至3任一项所述的钙钛矿器件的制备方法，其特征在于，还包括：在形成所述有机液膜之前，预先对所述钙钛矿器件的衬底进行第一加热，以提高所述衬底的温度，所述第一加热的温度小于所述退火的温度；在对所述钙钛矿器件的衬底进行第一加热之后，在所述金属卤化物膜的表面形成有机液膜；优选的，所述第一加热的温度为40℃
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100℃；所述退火的温度为100℃
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200℃，所述退火的时间为5min
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【专利技术属性】
技术研发人员：毕恩兵，汪勇，巴前凯，
申请(专利权)人：宣城先进光伏技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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