下载含碘的酸可裂解化合物、由其衍生的聚合物和光致抗蚀剂组合物的技术资料

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公开了一种包含芳香族基团或杂芳香族基团的化合物,其中该芳香族基团或该杂芳香族基团包括包含烯键式不饱和双键的第一取代基、为碘原子的第二取代基和包含酸不稳定基团的第三取代基,其中该第一取代基、该第二取代基和该第三取代基各自键合到芳香族基团或杂芳...
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