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本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜装置。其技术方案包括：外壳、连接罩、支撑板和挡板，所述外壳内壁下端两侧均安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆上端外壁安装有支撑板，所述外壳内壁一侧插接安装有连接罩，所述连接罩内壁一侧安装有第二...
该专利属于兆默真空设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兆默真空设备（上海）有限公司授权不得商用。

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