下载线放电加工装置及半导体晶片的制造方法的技术资料

文档序号:37133665

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为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动,具有:1根线电极(1),其绕多个引导辊(2)卷绕多次,由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部(1a);放电波形控制装置(32),其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的...
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