下载收料机天车机械手工作站的技术资料

文档序号:37133072

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本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及收料机天车机械手工作站,包括主体框架部件,所述主体框架部件的顶部固定连接有弹夹储存部件,所述弹夹储存部件的顶部固定连接有大料盒工装部件,所述主体框架部件内壁的一侧连接有移动机械手部件,所述主体框架部件的内部...
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