下载微型LED清洁设备、LED修复系统以及清洁方法的技术资料

文档序号:37133045

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本发明属于半导体技术领域,公开了一种微型LED清洁设备、LED修复系统以及清洁方法。微型LED清洁设备包括相机装置、吸附装置以及清洁装置,清洁装置包括位置调整机构、安装板、放辊机构以及擦头机构,擦头机构包括第一安装件和擦头组件,擦头组件包括...
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