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本实用新型公开了一种有机卤化物材料蒸镀用蒸发源装置,包括金属卤化物蒸发源、有机卤化物蒸发源和基板,金属卤化物蒸发源、有机卤化物蒸发源均设置于基板待蒸镀面下方,两个有机卤化物蒸发源设置于金属卤化物蒸发源的两侧,金属卤化物蒸发源将金属卤化物材料...该专利属于合肥欣奕华智能机器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥欣奕华智能机器股份有限公司授权不得商用。
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