温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅片的柔性吸取位移装置，包括支撑台；所述支撑台的台面上设置有可转动的硅片盘；所述硅片盘上设置有多个承载硅片的硅片安装位；其中，在支撑台的台面一侧设置有换向台，换向台设置在承接台上，所述承接台用于支撑换向台在支撑台上换位；所述...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。