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一种压力传感薄膜材料及其制备方法和应用技术
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文档序号:37131242
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本发明公开了一种压力传感薄膜材料及其制备方法和应用,属于薄膜材料技术领域。压力传感薄膜材料包括由下至上依次层叠的金属基体、压阻敏感层、电极层和耐磨防护层,所述电极层封装在所述耐磨防护层和所述压阻敏感层之间;且电极层耐磨防护层均与压阻敏感层、...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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