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光致抗蚀剂组合物及图案形成方法。一种聚合物，其包含第一重复单元和第二重复单元，所述第一重复单元衍生自包括单个酯缩醛基团的第一单体，所述第二重复单元衍生自包括多个酯缩醛基团的第二单体。缩醛基团的第二单体。
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