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圆柱面前驱体陶瓷薄膜温度传感器及其制备装置、制备方法制造方法及图纸
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文档序号:37130527
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本发明公开了一种圆柱面前驱体陶瓷薄膜温度传感器及其制备装置、制备方法,该温度传感器包括圆柱面基底、陶瓷薄膜敏感栅、焊点、引线和固定件,陶瓷薄膜敏感栅和焊点通过曲面韦森堡直写成型技术共形敷设于圆柱面基底上并经过热解陶瓷化制得,焊点设置在陶瓷薄...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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