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本发明公开了一种OVD沉积反应装置及反应系统,涉及光纤预制棒制造技术领域,一方面,该装置包括两块间隔设置的腔体板和隔离板,两块腔体板形成带有进气侧和出气侧且用于沉积光纤预制棒的腔体;至少一块腔体板的内侧间隔设置有隔离板,并与该腔体板之间形成...该专利属于藤仓烽火光电材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过藤仓烽火光电材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种OVD沉积反应装置及反应系统,涉及光纤预制棒制造技术领域,一方面,该装置包括两块间隔设置的腔体板和隔离板,两块腔体板形成带有进气侧和出气侧且用于沉积光纤预制棒的腔体;至少一块腔体板的内侧间隔设置有隔离板,并与该腔体板之间形成...