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本发明公开了靶材加工定位装置，涉及靶材加工技术领域，包括工作台，所述工作台的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板，所述承托板的中部设置有送气台，所述送气台的...
该专利属于先导薄膜材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料有限公司授权不得商用。

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