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制备有机发光显示装置的工艺制造方法及图纸
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文档序号:3712781
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通过磁力抑制当使基板与掩模彼此紧密接触时导致的基板与掩模之间的位置位移。在通过气相沉积穿过掩模(3)在基板(2)上形成包括在有机发光显示装置中的有机化合物层(有机EL元件膜)的步骤中,使基板(2)与掩模(3)对准,然后通过多个按压部件(5)...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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