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本发明涉及一种对准标记组件和晶圆对准标记检测装置，其中对准标记组件包括衬底和薄膜，衬底包括平行设置的第一对标区域和第二对标区域，第一对标区域上开设有呈第一周期排布的第一凹槽，第二对标区域上开设有呈第二周期排布的第二凹槽。由于第一凹槽的宽度与...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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