下载一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料及制备方法的技术资料

文档序号:37125527

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本发明公开了一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料,包含氮氧化铝、氮化铝及氧化硅,氮氧化铝的成分比例不低于97%,氮化铝和氧化硅的总的成分比例不高于3%,材料应用的厚度范围为1~20nm。还提出了一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料的制备...
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