一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料，包含氮氧化铝、氮化铝及氧化硅，氮氧化铝的成分比例不低于97%，氮化铝和氧化硅的总的成分比例不高于3%，材料应用的厚度范围为1~20nm。还提出了一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料的制备方法：S1提供一个反应室，使用保护性气体携带含铝驱体源进入反应室；S2将氧源气体和氮源气体作为反应气体引入反应室；S3将温度控制在150℃到350℃之间，将压力控制在300mbar到1000mbar之间；S4通过5KW以内的射频功率进行射频反应，形成等离子体溅射，将钝化层材料沉淀到硅基表面。本发明专利技术优化了太阳能电池钝化膜材料的制备工序，使用新的材料类型，使钝化层材料保持较低的热膨胀系数，可以获得更加理想的介电性质。可以获得更加理想的介电性质。可以获得更加理想的介电性质。

【技术实现步骤摘要】
一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料及制备方法


[0001]本专利技术涉及太阳能电池的生产制造领域，尤其涉及一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料及制备方法。

技术介绍

[0002]晶体硅太阳能电池通常会制备钝化层，常见的钝化层材料有二氧化硅、氮化硅等材料，以二氧化硅为例，其热膨胀系数较低，且具有较好的钝化作用。但现有的成熟工艺制备有关材料的钝化层的成本较高，并且依赖高温退火工序，该工序会显著影响产品良率和钝化层的介电性质。本项专利技术创造优化了有关工序和材料，使钝化层材料保持较低的热膨胀系数，获得理想的介电性质。

技术实现思路

[0003]技术目的针对现有的太阳能电池钝化层材料的热膨胀系数高、介电性质有限的问题，本专利技术提供了一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料及制备方法。
[0004]技术方案为实现以上目的，本专利技术采取了以下技术方案。
[0005]一方面，本专利技术提出了一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料，包含氮氧化铝、氮化铝及氧化硅，氮氧化铝的成分比例不低于97%，氮化铝和氧化硅的总的成分比例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料，其特征在于：包含氮氧化铝、氮化铝及氧化硅，氮氧化铝的成分比例不低于97%，氮化铝和氧化硅的总的成分比例不高于3%，材料应用的厚度范围为1~20nm。2.一种权利要求1所述优化介电性质的太阳能电池钝化层材料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1 提供一个反应室，使用保护性气体携带至少一个含铝驱体源进入反应室；S2 将氧源气体和氮源气体作为反应气体引入反应室；S3 将温度控制在150℃到350℃之间，将压力控制在300mbar到1000mbar之间；S4 通过5KW以内的射频功率进行射频反应，形成等离子体溅射，将钝化层材料沉淀到硅基表面。3.根据权利要求2所述的一种优化介电性质的太阳能电池钝化层材料的制备方法，其特征在于：所述含铝驱体源为三甲基铝。4.根据权利要求2所述的一种优化...

【专利技术属性】
技术研发人员：李静，余永健，
申请(专利权)人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：