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本发明提供了一种接触式晶圆固定平台。该接触式晶圆固定平台通过第一支撑件上的第一支撑平面能够对第一尺寸的晶圆进行支撑，通过第二支撑件上的第二支撑平面能够对第二尺寸的晶圆进行支撑，通过调整第一封堵部的相对位置，可调整第一气路通道、第二气路通道、...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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