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本发明公开了一种含亲电亲核双功能有机硼化合物的钨化学机械抛光液,该抛光液还包含经硅烷偶联剂处理的研磨颗粒、催化剂、稳定剂、氧化剂、腐蚀抑制剂,余量为水。本发明的钨化学机械抛光液使用的亲电亲核双功能有机硼化合物可以增加体系稳定性,同时可以提高...该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种含亲电亲核双功能有机硼化合物的钨化学机械抛光液,该抛光液还包含经硅烷偶联剂处理的研磨颗粒、催化剂、稳定剂、氧化剂、腐蚀抑制剂,余量为水。本发明的钨化学机械抛光液使用的亲电亲核双功能有机硼化合物可以增加体系稳定性,同时可以提高...