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本发明提供了一种体声波滤波器及其制造方法，所述体声波滤波器包括：衬底，所述衬底包括谐振区域；形成于所述谐振区域上的下电极；覆盖所述下电极的压电层；形成于所述谐振区域上的上电极；以及，形成于所述谐振区域上的阻挡层和凸起结构，所述阻挡层和所述凸...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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