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测定装置、测定方法、离子感应半导体器件制造方法及图纸
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文档序号:37110703
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一种测定装置,包括:配置为能与应测定特性值的介质接触的第一离子感应半导体元件、第二离子感应半导体元件及参考电极;接受来自第一离子感应半导体元件的第一信号及来自第二离子感应半导体元件的第二信号且生成传感器信号的信号输入部;处理传感器信号的信号...
该专利属于拉碧斯半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过拉碧斯半导体株式会社授权不得商用。
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