下载半导体装置以及半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:37110624

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提供一种包括提高了性能的电感器的半导体装置以及半导体装置的制造方法。包括:电路部,其形成于半导体基板上;第一绝缘膜,其以覆盖包括电路部的上部在内的半导体基板上的区域的至少一部分的方式形成;重布线,其形成于第一绝缘膜上;线圈,其利用重布线而形...
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