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本实用新型公开了一种带分流盘的CVD沉积炉，包括底板，所述底板顶部的左侧栓接有支撑架，所述支撑架的顶部栓接有沉积炉本体，所述沉积炉本体的内腔设置有沉积仓，所述沉积仓的内腔栓接有分流盘，所述沉积炉本体的底部开设有出料口，所述支撑架内部的两侧均...
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