下载压电层叠体及压电元件的技术资料

文档序号:37109770

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本申请涉及压电层叠体及压电元件。本发明获得一种无需增加工艺负荷便可提高压电特性及驱动稳定性的压电层叠体及压电元件。压电层叠体及压电元件在基板上依次具备下部电极层、以及包含钙钛矿型氧化物的压电膜。下部电极层包括:第1层,以与基板相接的状态配置...
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