下载包含半导体装置的划片区中的图案的设备及方法的技术资料

文档序号:37109701

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本公开涉及包含半导体装置的划片区中的图案的设备和方法。描述包含划线中的结构的设备。实例设备包含:第一芯片和第二芯片;划片区,其在所述第一芯片与所述第二芯片之间;裂缝引导区,其在所述划片区中,所述裂缝引导区包含切割线,所述第一芯片和所述第二芯...
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