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本发明公开了一种制备扫描电容显微镜试片的方法，其步骤包括：提供一样品，该样品内部包括至少一个待分析目标物；利用人工研磨方式，自该样品的边缘向含有该待分析目标物的目标区逐渐研磨进去，并且在距离通过该目标区中的该至少一个待分析目标物的结构中心的...
该专利属于汎铨科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过汎铨科技股份有限公司授权不得商用。

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