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本发明涉及基板处理方法，其在分成第一处理区域以及第二处理区域的处理空间中在基板上进行处理工艺。所述基板处理方法包含：在由支撑单元支撑的基板设置于第一处理区域中时，在第一处理区域中在基板上进行第一处理工艺的步骤；在完成第一处理工艺时，使支撑单...
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