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本实用新型提供一种气体均流喷淋装置,包括底座,其包括圆形的底板、设置于所述底板上的若干喷淋孔以及沿周向设置于所述底板外围的环形挡边;盖板,设置于所述底座远离所述底板的一面,所述盖板和所述环形挡边焊接连接,所述盖板和所述底座之间形成喷气腔;进...该专利属于亚赛(无锡)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚赛(无锡)半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种气体均流喷淋装置,包括底座,其包括圆形的底板、设置于所述底板上的若干喷淋孔以及沿周向设置于所述底板外围的环形挡边;盖板,设置于所述底座远离所述底板的一面,所述盖板和所述环形挡边焊接连接,所述盖板和所述底座之间形成喷气腔;进...