温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种在晶圆级别集成的厚度检测装置和VCSEL单元的制备方法，所述在晶圆级别集成的厚度检测装置包括：第一电容板，其中，在所述VCSEL单元的制备过程中，该绝缘层适于被等厚地形成于所述第一电容板和所述P
...
该专利属于浙江睿熙科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江睿熙科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。