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本实用新型公开一种摆阀初始化检测装置，用于检测摆阀关闭位置的有效性；摆阀内部具有一连通工艺腔室和抽气装置的气路；气路包括依次连通的上通道、活动室和下通道，上通道与工艺腔室连通，下通道与抽气装置连通，活动室内设有阀片，上通道和/或下通道朝向活...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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