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半导体结构及其制备方法技术
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文档序号:37102521
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本发明涉及一种半导体结构及其制备方法,包括:基底,具有第一表面;若干存储元件,位于基底的第一表面上,存储元件按第一预设图形排布;若干存储接触结构,与存储元件一一对应,且存储接触结构的底部与存储元件的顶部相接触,存储接触结构的顶部按第二预设图...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。
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