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本发明公开了一种磨轮表面的镀膜方法,包括:对磨轮表面进行清洗以及烘干处理;将烘干后的磨轮置于真空室内,在氩气和氢气环境下,对磨轮表面进行辉光清洗;向真空室内通入硅烷和氩气,并控制气压为200Pa~300Pa,温度为200℃~300℃,向磨轮...该专利属于东莞新科技术研究开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞新科技术研究开发有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种磨轮表面的镀膜方法,包括:对磨轮表面进行清洗以及烘干处理;将烘干后的磨轮置于真空室内,在氩气和氢气环境下,对磨轮表面进行辉光清洗;向真空室内通入硅烷和氩气,并控制气压为200Pa~300Pa,温度为200℃~300℃,向磨轮...