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本发明提供一种改善金属沉积台阶覆盖的方法和装置，采用化学气相沉积工艺在晶圆表面沉积均匀厚度的氧化层；在氧化层表面形成掩膜图形；根据掩膜图形，采用蒸发工艺或溅射工艺在氧化层表面沉积第一金属层。本申请保证了金属层的沉积质量，有效地提高了金属层与...该专利属于国家电网有限公司国网江苏省电力有限公司电力科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过国家电网有限公司国网江苏省电力有限公司电力科学研究院授权不得商用。