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本发明公开了一种晶圆校正装置及晶圆校正方法，晶圆校正装置包括：晶圆承载台，用于放置晶圆；激光摄像头，设置于晶圆承载台的正面，至少用于发射激光信号；激光接收器，设置于机械手臂的背面，用于接收激光摄像头发射的激光信号；机械手臂控制器，至少与机械...
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