下载量子比特组件制备方法、量子比特组件、量子芯片及设备的技术资料

文档序号:37100358

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本申请关于一种量子比特组件制备方法、量子比特组件、量子芯片及设备,涉及微纳加工技术领域。量子比特组件制备方法包括:在衬底上制备至少两个区域的波导膜层,波导膜层的侧面是从顶部向外延伸的斜面;通过多兰桥光刻胶结构制备与波导膜层不相连的量子比特结...
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