下载半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供衬底,衬底上形成有底部鳍部,底部鳍部顶部形成有沟道结构;在衬底上形成隔离层,隔离层覆盖底部鳍部侧壁;形成覆盖隔离层和沟道结构顶部的牺牲层;形成贯穿牺牲层的沟槽,沟槽横跨沟道结构并向沟道结构两侧延伸,...
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