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本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其为一种用于硅片镀膜的承载装置，包括石墨底板与石墨框架，所述石墨底板上端贴合有石墨框架，所述石墨框架左右两侧底侧均固定连接有滑架，所述滑架滑动连接在滑槽内，所述滑槽分别开设在石墨框架左右两端上侧内与石墨底板...
该专利属于天津美芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津美芯电子科技有限公司授权不得商用。

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