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本申请揭示了一种高效率硅片翘曲检测装置，包括：基座；检测机构，设置于所述石英舟宽度方向的一端且与所述基座连接，所述检测机构包括检测板，所述检测板面向所述石英舟的一侧设置有多个平行分布且垂直于所述基座的安置槽，所述安置槽在长度方向竖直分布有至...
该专利属于无锡莹杰智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡莹杰智能装备有限公司授权不得商用。

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