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本实用新型公开了一种托料支架，其包括支架本体、第一密封气路和第二密封气路，其中：支架本体上形成有用于放置待载物料的托料面；第一密封气路设置在支架本体中，第一密封气路的一端露出于托料面，另一端能够与真空模块连通，真空模块用于产生真空负压，使待...
该专利属于深圳格芯集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳格芯集成电路装备有限公司授权不得商用。

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