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本实用新型公开了一种气相沉积设备的气体组件及气相沉积设备。本实用新型的气相沉积设备的气体组件包括：第一腔室、载气腔室和第二腔室。第一进气口设置于所述第一腔室顶部，且在第一腔室中设置筛子板，可有助于不易扩散的二族和/或三族源气体在第一腔室中均...
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