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本发明涉及一种压力检测结构以及制备方法。一种压力检测结构,包括:衬底;位于衬底上的金属互连层;位于金属互联层上方的多个RRAM存储单元,每个存储单元通过一一对应的第一金属栓塞与金属互联层连接;每个RRAM存储单元上方一一对应设有一个压阻式传...该专利属于浙江省北大信息技术高等研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江省北大信息技术高等研究院授权不得商用。
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本发明涉及一种压力检测结构以及制备方法。一种压力检测结构,包括:衬底;位于衬底上的金属互连层;位于金属互联层上方的多个RRAM存储单元,每个存储单元通过一一对应的第一金属栓塞与金属互联层连接;每个RRAM存储单元上方一一对应设有一个压阻式传...