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本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种原子层沉积三腔单电源控制系统。本发明提供的原子层沉积多腔单电源控制系统，包括控制模块、射频电源、射频阻抗、若干个固态继电器及对应的射频回路和反应腔：所述控制模块，对固态继电器进行开启或断开；...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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