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一种超平滑有机膜层的制备方法技术
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文档序号:37076424
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本发明公开了一种超平滑有机膜层的制备方法。镀膜是在氧化硅、氧化铝等无机膜层表面进行,工艺包括,有机物闪蒸、有机物流平、有机膜层聚合三个工艺过程;本发明的方法制备的有机膜层的作用,一方面能够使得无机膜层平坦化,粗糙度从20nm降到3纳米以内,...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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