下载一种硅片清洗制绒后的干燥装置的技术资料

文档序号:37073412

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本发明公开了一种硅片清洗制绒后的干燥装置,包括箱体,箱体内设置有相互独立的干燥室和驱动室,干燥室内设置有若干个能够快速夹持硅片的夹持结构,驱动室设置有驱动电机和与驱动电机的输出轴固定连接的齿轮组,每个夹持结构均通过一竖直布置的支杆与齿轮组固...
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