下载一种CVD法石墨烯反应炉的技术资料

文档序号:37072425

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本实用新型公开了一种CVD法石墨烯反应炉,属于石墨烯技术领域。该反应炉包括炉本体,炉本体内设有生长基底,炉本体一端设有第一漏斗型连接部,第一漏斗型连接部远离炉本体的一端连接进气管;第一漏斗型连接部的较小端设有截面为形状为半球壳的气体分布器,...
该专利属于西南石油大学所有,仅供学习研究参考,未经过西南石油大学授权不得商用。

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