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本发明提供一种神经信号检测跨尺度微纳电极阵列芯片、制备方法及其应用，属于传感器技术，该芯片由基底、微纳电极阵列、对电极、参比电极、引线及外接触点组成，微纳电极阵列中的微米电极点上分布有等间距排列的纳米级圆柱阵列，采用溅射、光刻、干法刻蚀、湿...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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