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本实用新型提供了一种激光跟踪位姿测量靶标装置，应用于几何测量技术领域，包括：呈凸台状的靶标腔体，具有凸台上表面和凸台下表面，反射器支座，设置于所述靶标腔体的所述凸台的中心位置处，光学逆反射器，设置于所述反射器支座上，至少两对特征点光源，设置...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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